前言:mems加速度计,加速度计单轴加速度计
加速度传感器分为单轴和三轴的传感器:单轴加速度传感器检测一个方向上的加速度。三轴是同时检测XYZ三个方向上的加速度值。
从加速度传感器的定义来看,加速度传感器是一种能够测量加速度的传感器。通常由质量块、阻尼器、弹性元件、敏感元件和适调电路等部分组成。传感器在加速过程中,通过对质量块所受惯性力的测量,利用牛顿第二定律获得加速度值。根据传感器敏感元件的不同,常见的加速度传感器包括电容式、电感式、应变式、压阻式、压电式等。
mems加速度计,加速度计,单轴加速度计PA-LAMI-01:
PA-LAMI-01 系列低噪声加速度传感器由西安精准测控有限责任公司自行研制,用于测量
加速度的传感器。它采用高精度 MEMS 芯片,具有 BIMOS 信号限制电路。设计考虑多用户的
需求,制造采用表贴工艺技术。具有高可靠性和高封装坚固性,并具有温度传感器输出、自检
测(Self-Test)等功能,可实现温补和自检测。
1.2. mems加速度计,加速度计,单轴加速度计产品应用
本产品可用于汽车测控、惯性导航、飞行器安全系统、地震监控、倾斜、速度和位置的惯
性、振动和冲击试验台加速度的测量等系统中。
1.3. mems加速度计,加速度计,单轴加速度计工作原理
PA-LAMI 系列低噪声加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面 MEMS 多硅结构。多晶硅
簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板
和一个与运动质块相连的中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏
转,从而产生电压输出信号。
1.4. mems加速度计,加速度计,单轴加速度计技术条件
测量范围(g) | ±100 |
频响(Hz) | 100 |
零 g 偏置电压(V) | 2.5±0.02 ① |
灵敏度②(mV/g) | 20±1 |
满量程输出(V)③ | 0.5~4.5V |
输出噪声(差分 RMS,V/ ) ? HZ | 20 |
交叉轴影响(%) | <1 |
偏置温漂 (mg)/°C | <5 ( -55 to +125°C 全温范围内 ) |
刻度因数温漂( ppm/°C) | <100 (-55 to +125°C 全温范围内) |
非线性度(% F.S) | 0.5 |
供电要求
供电电压(VDC)④ | +12 |
输入电流(mA) | <5 |
工作环境
使用温度(°C) | -55 to +125°C |
耐加速度 0.1 ms | 2000g |
重量、体积
重量(g) | <30 |
体积(mm3 ) | 28×28×15.5 |
1.5. 电气接口
引线色别 | 红 | 黑 | 兰 | 屏蔽套 |
信号 | +12V | 地 | AXout | 壳体地 |
1.6. 外型尺寸